什么是压阻式压力传感器？

发布时间：2022-12-08 01:00:32 作者：知网小编 来源：www.it54.cn

压阻式压力传感器是应用最广泛的压力传感器之一。 压阻式压力传感器是利用硅 的压阻效应和微电子技术制成的，它具有灵敏度高、动态响应好、准确度高、易于微 型化和集成化等特点，是获得广泛应用，而且是发展迅速的一种新的物性型传感器。 早期的压阻传感器是利用半导体应变片制成的粘贴型压阻传感器。 70年代以后，研制 出周边固支的力敏电阻与硅膜片一体化的扩散型压阻传感器。 它易于批量生产，能够方便地实现微型化、继承化和智能化。 因而，它成为受到 人们普遍重视并重点开发的具有代表性的新型传感器。 1.1.4 传统压力传感器的局限性 传统的传感器技术为了提高其性能， 在制作材料方渐必须满足多品种、 高性能的 要求，这就使得其成本居高不下， 而且对制作过程要求非常严格。

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