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发布时间:2023-02-23 11:22:57 作者:知网小编 来源:www.it54.cn
我们通常按工作原理来 分类,可以分为:压阻式压力传感器、电容式压力传感器、电感式压力传感器、压电 式压力传感器、 智能式压力传感器等。 当然,我们也可以采用所使用的材料对压力传 感器进行分类:余属压力传感器、半导体压力传感器、金属.氧化物压力传感器、光 学压力传感器等,还有其他一些分法,这里就不一一介绍了。 压阻式压力传感器是应用最广泛的压力传感器之一。 压阻式压力传感器是利用硅 的压阻效应和微电子技术制成的,它具有灵敏度高、动态响应好、准确度高、易于微 型化和集成化等特点,是获得广泛应用,而且是发展迅速的一种新的物性型传感器。 早期的压阻传感器是利用半导体应变片制成的粘贴型压阻传感器。